Residual stress in TiN thin films studied by the grazing incidence X-ray diffraction method
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2007
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GOMEZ, A.G.; RECCO, A.A.C.; MARTINEZ, L.G. Residual stress in TiN thin films studied by the grazing incidence X-ray diffraction method. Activity Report 2007. Disponível em: http://repositorio.ipen.br/handle/123456789/23037. Acesso em: 25 Apr 2024.
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