Caracterização de filmes finos de óxidos de nióbio obtidos por sputtering reativo
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2014
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CONGRESSO BRASILEIRO DE ENGENHARIA E CIÊNCIA DOS MATERIAIS, 21.
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SCHEIDT, G.S; SILVA JUNIOR, O.P.V.; ARAUJO, E.G.; PILLIS, M.F. Caracterização de filmes finos de óxidos de nióbio obtidos por sputtering reativo. In: CONGRESSO BRASILEIRO DE ENGENHARIA E CIÊNCIA DOS MATERIAIS, 21., 9-13 de novembro, 2014, Cuiabá, MT. Anais... p. 795-802. Disponível em: http://repositorio.ipen.br/handle/123456789/23468. Acesso em: 19 Apr 2024.
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