SA, A.L.S.BRESSIANI, A.H.A.GENOVA, L.A.VERDONCK, P.B.2014-11-192014-11-192015-04-012014-11-192014-11-192015-04-01SA, A.L.S.; BRESSIANI, A.H.A.; GENOVA, L.A.; VERDONCK, P.B. Avaliacao do ataque por plasma de SFsub(6) em corpos de nitreto de silicio. In: CONGRESSO BRASILEIRO DE CERAMICA, 42., 3-6 jun, 1998, Pocos de Caldas, MG. <b>Resumos...</b> p. 50. DisponÃvel em: http://repositorio.ipen.br/handle/123456789/19408.http://repositorio.ipen.br/handle/123456789/1940850ceramicssilicon nitridesetchingsilicon fluoridesplasmamicrostructureAvaliacao do ataque por plasma de SFsub(6) em corpos de nitreto de silicioResumo de eventos cientÃficoshttps://orcid.org/0000-0002-5172-5082