Wagner de RossiMACHADO, LEANDRO M.2014-10-092014-10-092014-10-092014-10-092012MACHADO, LEANDRO M. <b>Microusinagem de dielétricos com pulsos laser de femtossegundos</b>. Orientador: Wagner de Rossi. 2012. 132 f. Tese (Doutoramento) - Instituto de Pesquisas Energeticas e Nucleares - IPEN-CNEN/SP, São Paulo. DOI: <a href="https://dx.doi.org/10.11606/T.85.2012.tde-23102012-144705">10.11606/T.85.2012.tde-23102012-144705</a>. Disponível em: http://repositorio.ipen.br/handle/123456789/10119.http://repositorio.ipen.br/handle/123456789/10119Neste trabalho foi utilizado o método de regressão do diâmetro para a medida do limiar de ablação nos materiais Suprasil, BK7, Safira e Ti:Safira por pulsos de femtossegundos. Através de medidas dos limiares de ablação para pulsos únicos e pulsos sobrepostos, quantificou-se o parâmetro de incubação para cada dielétrico. Essas medidas preliminares serviram para validação do método denominado Diagonal Scan ou D-scan. Para tanto, o método D-scan teve seu formalismo expandido o que possibilitou a quantificação da sobreposição de pulsos durante o seu uso. A simplicidade e rapidez do método D-scan permitiram que o limiar de ablação no BK7 fosse medido para diferentes larguras temporais e sobreposições. O limiar de ablação para pulsos únicos em função da largura temporal dos pulsos foi comparado com uma simulação teórica. A partir do conhecimento do parâmetro de incubação desenvolveu-se uma metodologia de usinagem em dielétricos que considera a sobreposição de pulsos durante a ablação. Isso permitiu a fabricação de microcanais para uso em microfluídica em BK7.132openAccesslaserslaser radiationdielectric materialspulsesnonlinear opticsablationincubationmicrochannel electron multiplierspulse analyzersTese10.11606/T.85.2012.tde-23102012-144705