PILLIS, M.F.CHIARAMONTE, T.JOSSE COURTY, C.SANTOS, A.O. dosCARDOSO, L.P.SACILOTTI, M.2014-11-172014-11-182015-04-022014-11-172014-11-182015-04-02PILLIS, M.F.; CHIARAMONTE, T.; JOSSE COURTY, C.; SANTOS, A.O. dos; CARDOSO, L.P.; SACILOTTI, M. Caracterizacao de filmes finos de TiNO obtidos por MOCVD. In: ENCONTRO E EXPOSICAO BRASILEIRA DE TRATMENTOS DE SUPERFICIE, 12.; INTERFINISH LATINO-AMERICANO, 2., 9-11 de maio, 2006, Sao Paulo, SP. <b>Anais...</b> DisponÃvel em: http://repositorio.ipen.br/handle/123456789/13780.http://repositorio.ipen.br/handle/123456789/13780openAccessthin filmstitanium oxidestitanium nitridescoatingsthree-dimensional calculationssample preparationscanning electron microscopyx-ray diffractionCaracterizacao de filmes finos de TiNO obtidos por MOCVDTexto completo de eventohttps://orcid.org/0000-0002-1423-871X