ROSSI, W. deMACHADO, L.M.SAMAD, R.E.FREITAS, A.Z.VIEIRA JUNIOR, N.D.COUSTILLIER, G.UTEZA, O.CAPRARA, L.P.PIZANI, P.S.2014-11-192014-11-192015-04-012014-11-192014-11-192015-04-01ROSSI, W. de; MACHADO, L.M.; SAMAD, R.E.; FREITAS, A.Z.; VIEIRA JUNIOR, N.D.; COUSTILLIER, G.; UTEZA, O.; CAPRARA, L.P.; PIZANI, P.S. Structural changes in silicon wafer processed by femtosecond laser. In: ENCONTRO DA SOCIEDADE BRASILEIRA DE PESQUISA EM MATERIAIS, 7., 28 de setembro - 02 de outubro, 2008, Guarujá, SP. <b>Resumos...</b> Disponível em: http://repositorio.ipen.br/handle/123456789/20435.http://repositorio.ipen.br/handle/123456789/20435openAccesslaser beam machiningsiliconraman spectroscopyResumo de eventos científicoshttps://orcid.org/0000-0003-0092-9357https://orcid.org/0000-0002-5018-9126https://orcid.org/0000-0001-7762-8961https://orcid.org/0000-0003-1371-7521