Jose Octavio Armani PaschoalGUERREIRO, SERGIO S.2014-10-092014-10-092014-10-092014-10-091994GUERREIRO, SERGIO S. <b>Estudo e caracterizacao de filmes finos de nitreto de titanio obtidos por evaporacao a arco catodico de deposicao a vacuo</b>. Orientador: Jose Octavio Armani Paschoal. 1994. 96 f. Dissertacao (Mestrado) - Instituto de Pesquisas Energeticas e Nucleares - IPEN/CNEN-SP, Sao Paulo. Disponível em: http://repositorio.ipen.br/handle/123456789/10377.http://repositorio.ipen.br/handle/123456789/1037796openAccessthin filmstitanium nitridesevaporationdepositionvacuum coatingDissertação