SILVA, D.L.C.KASSAB, L.R.P.MARTINELLI, J.R.SANTOS, A.D.RIBEIRO, S.J.L.PILLIS, M.F.2016-01-282016-01-28SILVA, D.L.C.; KASSAB, L.R.P.; MARTINELLI, J.R.; SANTOS, A.D.; RIBEIRO, S.J.L.; PILLIS, M.F. Produção e caracterização de filmes finos de carbono pela técnica de Magnetron Sputtering. In: CONGRESSO BRASILEIRO DE CERAMICA, 59., 17-20 de maio, 2015, Barra dos Coqueiros, SE. <b>Anais...</b> p. 3515-3525. Disponível em: http://repositorio.ipen.br/handle/123456789/25624.http://repositorio.ipen.br/handle/123456789/256243515-3525openAccessthin filmscarbonmagnetronssputteringsample preparationheat treatmentscrystallizationtransmission electron microscopyraman spectroscopyscanning electron microscopyTexto completo de eventohttps://orcid.org/0000-0002-1423-871X