Avaliacao do ataque por plasma de SFsub(6) em corpos de nitreto de silicio

Página do item simplificado
dc.contributor.authorSA, A.L.S.pt_BR
dc.contributor.authorBRESSIANI, A.H.A.pt_BR
dc.contributor.authorGENOVA, L.A.pt_BR
dc.contributor.authorVERDONCK, P.B.pt_BR
dc.coverageNacionalpt_BR
dc.creator.eventoCONGRESSO BRASILEIRO DE CERAMICA, 42.pt_BR
dc.date.accessioned2014-11-19T10:37:47Zpt_BR
dc.date.accessioned2014-11-19T14:07:37Zpt_BR
dc.date.accessioned2015-04-01T12:48:00Z
dc.date.available2014-11-19T10:37:47Zpt_BR
dc.date.available2014-11-19T14:07:37Zpt_BR
dc.date.available2015-04-01T12:48:00Z
dc.date.evento3-6 jun, 1998pt_BR
dc.format.extent50pt_BR
dc.identifier.citationSA, A.L.S.; BRESSIANI, A.H.A.; GENOVA, L.A.; VERDONCK, P.B. Avaliacao do ataque por plasma de SFsub(6) em corpos de nitreto de silicio. In: CONGRESSO BRASILEIRO DE CERAMICA, 42., 3-6 jun, 1998, Pocos de Caldas, MG. <b>Resumos...</b> p. 50. Disponível em: http://repositorio.ipen.br/handle/123456789/19408.
dc.identifier.orcidhttps://orcid.org/0000-0002-5172-5082
dc.identifier.urihttp://repositorio.ipen.br/handle/123456789/19408pt_BR
dc.local.eventoPocos de Caldas, MGpt_BR
dc.subjectceramicspt_BR
dc.subjectsilicon nitridespt_BR
dc.subjectetchingpt_BR
dc.subjectsilicon fluoridespt_BR
dc.subjectplasmapt_BR
dc.subjectmicrostructurept_BR
dc.titleAvaliacao do ataque por plasma de SFsub(6) em corpos de nitreto de siliciopt_BR
dc.typeResumo de eventos científicospt_BR
dspace.entity.typePublication
ipen.autorLUIS ANTONIO GENOVA
ipen.autorANA HELENA DE ALMEIDA BRESSIANI
ipen.autorANA LIDIA SCATAREGI DE SÁ
ipen.codigoautor320
ipen.codigoautor96
ipen.codigoautor2397
ipen.contributor.ipenauthorLUIS ANTONIO GENOVA
ipen.contributor.ipenauthorANA HELENA DE ALMEIDA BRESSIANI
ipen.contributor.ipenauthorANA LIDIA SCATAREGI DE SÁ
ipen.date.recebimento02-02pt_BR
ipen.event.datapadronizada1998pt_BR
ipen.identifier.ipendoc07601pt_BR
ipen.notas.internasResumospt_BR
ipen.observacoesarquivo não disponível no Repositóriopt_BR
ipen.type.genreResumo
relation.isAuthorOfPublicatione7af24e8-0db9-49d2-8caf-92fd57c2686b
relation.isAuthorOfPublication04d834e7-faee-4461-8fa7-5e5071ec48cc
relation.isAuthorOfPublication8d9e8dbd-2bd0-4b44-a081-e25cd3036158
relation.isAuthorOfPublication.latestForDiscovery8d9e8dbd-2bd0-4b44-a081-e25cd3036158
sigepi.autor.atividadeSA, A.L.S.:2397:-1:Spt_BR
sigepi.autor.atividadeBRESSIANI, A.H.A.:96:-1:Npt_BR
sigepi.autor.atividadeGENOVA, L.A.:320:-1:Npt_BR
sigepi.autor.atividadeVERDONCK, P.B.:-1:-1:Npt_BR
Coleções
Eventos - Resumos