Caracterização de filmes de nitreto de titânio obtidos por MOCVD

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dc.contributor.authorPILLIS, M.F.pt_BR
dc.contributor.authorFRANCO, A.C.pt_BR
dc.contributor.authorARAUJO, E.G. dept_BR
dc.contributor.authorSACILOTTI, M.pt_BR
dc.coverageNacionalpt_BR
dc.creator.eventoCONGRESSO BRASILEIRO DE CERAMICA, 53.pt_BR
dc.date.accessioned2014-11-17T18:22:13Zpt_BR
dc.date.accessioned2014-11-18T18:30:17Zpt_BR
dc.date.accessioned2015-04-02T00:32:35Z
dc.date.available2014-11-17T18:22:13Zpt_BR
dc.date.available2014-11-18T18:30:17Zpt_BR
dc.date.available2015-04-02T00:32:35Z
dc.date.evento7-10 de junho, 2009pt_BR
dc.description.abstractO uso de revestimentos cerâmicos no setor industrial é bastante conhecido, seja para aumentar o desempenho de ferramentas de corte, na proteção contra corrosão ou ainda nas áreas de microeletrônica, óptica e médica. Dentre estes revestimentos, se destacam os nitretos de metais de transição, que despertaram interesse especial devido a sua alta dureza e estabilidade térmica. Neste trabalho foram obtidos filmes finos de nitreto de titânio por meio da técnica MOCVD (metallorganic chemical vapor deposition). Os crescimentos foram conduzidos por 1h a 700°C sob pressão de 80 e 100 mbar. Os revestimentos foram caracterizados por microscopia eletrônica de varredura acoplada a análises químicas por energia dispersiva, e difração de raiosX. Resultados preliminares sugerem a formação da fase Ti2N, e velocidades de crescimento da camada que variaram de 4 a 13 nm/min em função da variável de processo considerada.
dc.identifier.citationPILLIS, M.F.; FRANCO, A.C.; ARAUJO, E.G. de; SACILOTTI, M. Caracterização de filmes de nitreto de titânio obtidos por MOCVD. In: CONGRESSO BRASILEIRO DE CERAMICA, 53., 7-10 de junho, 2009, Guaruja, SP. <b>Anais...</b> Disponível em: http://repositorio.ipen.br/handle/123456789/16683.
dc.identifier.orcidhttps://orcid.org/0000-0002-1423-871X
dc.identifier.urihttp://repositorio.ipen.br/handle/123456789/16683pt_BR
dc.local.eventoGuaruja, SPpt_BR
dc.rightsopenAccesspt_BR
dc.subjectfilmspt_BR
dc.subjecttitanium nitridespt_BR
dc.subjectchemical vapor depositionpt_BR
dc.subjectcoatingspt_BR
dc.subjectscanning electron microscopypt_BR
dc.subjectx-ray diffractionpt_BR
dc.titleCaracterização de filmes de nitreto de titânio obtidos por MOCVDpt_BR
dc.typeTexto completo de eventopt_BR
dspace.entity.typePublication
ipen.autorEDVAL GONCALVES DE ARAUJO
ipen.autorMARINA FUSER PILLIS
ipen.codigoautor1689
ipen.codigoautor758
ipen.contributor.ipenauthorEDVAL GONCALVES DE ARAUJO
ipen.contributor.ipenauthorMARINA FUSER PILLIS
ipen.date.recebimento09-12pt_BR
ipen.event.datapadronizada2009pt_BR
ipen.identifier.ipendoc14240pt_BR
ipen.notas.internasAnaispt_BR
ipen.type.genreArtigo
relation.isAuthorOfPublication2cd8f606-0df7-4f09-92fe-793ae80da1e4
relation.isAuthorOfPublication90a23f45-0a62-4233-b676-a06bd75d6cc3
relation.isAuthorOfPublication.latestForDiscovery2cd8f606-0df7-4f09-92fe-793ae80da1e4
sigepi.autor.atividadePILLIS, M.F.:758:730:Spt_BR
sigepi.autor.atividadeARAUJO, E.G. DE:1689:-1:Npt_BR
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