Caracterizacao de filmes finos de Crsub(2)Osub(3)obtidos por deposicao quimica em fase vapor

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dc.contributor.authorPILLIS, M.F.pt_BR
dc.contributor.authorGALEGO, E.pt_BR
dc.contributor.authorSERNA, M.M.pt_BR
dc.contributor.authorFRANCO, A.C.pt_BR
dc.contributor.authorCORREA, O.V.pt_BR
dc.contributor.authorRAMANATHAN, L.V.pt_BR
dc.coverageNacionalpt_BR
dc.creator.eventoCONGRESSO BRASILEIRO DE ENGENHARIA E CIENCIA DOS MATERIAIS, 19.pt_BR
dc.date.accessioned2014-11-17T18:39:15Zpt_BR
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dc.date.evento21-25 de novembro, 2010pt_BR
dc.event.siglaCBECIMATpt_BR
dc.format.extent1513-1520pt_BR
dc.identifier.citationPILLIS, M.F.; GALEGO, E.; SERNA, M.M.; FRANCO, A.C.; CORREA, O.V.; RAMANATHAN, L.V. Caracterizacao de filmes finos de Crsub(2)Osub(3)obtidos por deposicao quimica em fase vapor. In: CONGRESSO BRASILEIRO DE ENGENHARIA E CIENCIA DOS MATERIAIS, 19., 21-25 de novembro, 2010, Campos do Jordao, SP. <b>Anais...</b> p. 1513-1520. Disponível em: http://repositorio.ipen.br/handle/123456789/17871.
dc.identifier.orcidhttps://orcid.org/0000-0003-4822-8840
dc.identifier.orcidhttps://orcid.org/0000-0001-6053-3907
dc.identifier.orcidhttps://orcid.org/0000-0002-1423-871X
dc.identifier.urihttp://repositorio.ipen.br/handle/123456789/17871pt_BR
dc.local.eventoCampos do Jordao, SPpt_BR
dc.rightsopenAccesspt_BR
dc.subjectthin filmspt_BR
dc.subjectchromium oxidespt_BR
dc.subjectchemical vapor depositionpt_BR
dc.titleCaracterizacao de filmes finos de Crsub(2)Osub(3)obtidos por deposicao quimica em fase vaporpt_BR
dc.typeTexto completo de eventopt_BR
dspace.entity.typePublication
ipen.autorOLANDIR VERCINO CORREA
ipen.autorLALGUDI VENKATARAMAN RAMANATHAN
ipen.autorMARILENE MORELLI SERNA
ipen.autorEGUIBERTO GALEGO
ipen.autorMARINA FUSER PILLIS
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ipen.contributor.ipenauthorOLANDIR VERCINO CORREA
ipen.contributor.ipenauthorLALGUDI VENKATARAMAN RAMANATHAN
ipen.contributor.ipenauthorMARILENE MORELLI SERNA
ipen.contributor.ipenauthorEGUIBERTO GALEGO
ipen.contributor.ipenauthorMARINA FUSER PILLIS
ipen.date.recebimento10-12pt_BR
ipen.event.datapadronizada2010pt_BR
ipen.identifier.ipendoc15838pt_BR
ipen.notas.internasAnaispt_BR
ipen.type.genreArtigo
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sigepi.autor.atividadePILLIS, M.F.:758:730:Spt_BR
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