Caracterizacao de filmes finos de TiNO obtidos por MOCVD

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dc.contributor.authorPILLIS, M.F.pt_BR
dc.contributor.authorCHIARAMONTE, T.pt_BR
dc.contributor.authorJOSSE COURTY, C.pt_BR
dc.contributor.authorSANTOS, A.O. dospt_BR
dc.contributor.authorCARDOSO, L.P.pt_BR
dc.contributor.authorSACILOTTI, M.pt_BR
dc.coverageInternacionalpt_BR
dc.creator.eventoENCONTRO E EXPOSICAO BRASILEIRA DE TRATMENTOS DE SUPERFICIE, 12.; INTERFINISH LATINO-AMERICANO, 2.pt_BR
dc.date.accessioned2014-11-17T17:25:53Zpt_BR
dc.date.accessioned2014-11-18T17:36:49Zpt_BR
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dc.date.evento9-11 de maio, 2006pt_BR
dc.event.siglaEBRATSpt_BR
dc.identifier.citationPILLIS, M.F.; CHIARAMONTE, T.; JOSSE COURTY, C.; SANTOS, A.O. dos; CARDOSO, L.P.; SACILOTTI, M. Caracterizacao de filmes finos de TiNO obtidos por MOCVD. In: ENCONTRO E EXPOSICAO BRASILEIRA DE TRATMENTOS DE SUPERFICIE, 12.; INTERFINISH LATINO-AMERICANO, 2., 9-11 de maio, 2006, Sao Paulo, SP. <b>Anais...</b> Disponível em: http://repositorio.ipen.br/handle/123456789/13780.
dc.identifier.orcidhttps://orcid.org/0000-0002-1423-871X
dc.identifier.urihttp://repositorio.ipen.br/handle/123456789/13780pt_BR
dc.local.eventoSao Paulo, SPpt_BR
dc.rightsopenAccesspt_BR
dc.subjectthin filmspt_BR
dc.subjecttitanium oxidespt_BR
dc.subjecttitanium nitridespt_BR
dc.subjectcoatingspt_BR
dc.subjectthree-dimensional calculationspt_BR
dc.subjectsample preparationpt_BR
dc.subjectscanning electron microscopypt_BR
dc.subjectx-ray diffractionpt_BR
dc.titleCaracterizacao de filmes finos de TiNO obtidos por MOCVDpt_BR
dc.typeTexto completo de eventopt_BR
dspace.entity.typePublication
ipen.autorLISANDRO P. CARDOSO
ipen.autorMARCO SACILOTTI
ipen.autorTHALITA CHIARAMONTE
ipen.autorMARINA FUSER PILLIS
ipen.codigoautor3600
ipen.codigoautor6329
ipen.codigoautor6324
ipen.codigoautor758
ipen.contributor.ipenauthorLISANDRO P. CARDOSO
ipen.contributor.ipenauthorMARCO SACILOTTI
ipen.contributor.ipenauthorTHALITA CHIARAMONTE
ipen.contributor.ipenauthorMARINA FUSER PILLIS
ipen.date.recebimento10-08pt_BR
ipen.event.datapadronizada2006pt_BR
ipen.identifier.ipendoc15493pt_BR
ipen.notas.internasAnaispt_BR
ipen.type.genreArtigo
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sigepi.autor.atividadePILLIS, M.F.:758:32:Spt_BR
sigepi.autor.atividadeCHIARAMONTE, T.:6324:-1:Npt_BR
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sigepi.autor.atividadeSANTOS, A.O. DOS:-1:-1:Npt_BR
sigepi.autor.atividadeCARDOSO, L.P.:3600:-1:Npt_BR
sigepi.autor.atividadeSACILOTTI, M.:6329:-1:Npt_BR

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