Aspectos da cloracao do silicio

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dc.contributor.authorSEO, E.S.M.pt_BR
dc.contributor.authorBROCCHI, E.A.pt_BR
dc.contributor.authorCARVALHO, R.J.pt_BR
dc.contributor.authorANDREOLI, M.pt_BR
dc.contributor.authorSOARES, E.P.pt_BR
dc.coverageNacionalpt_BR
dc.creator.evento53o. CONGRESSO ANUAL DA ASSOCIACAO BRASILEIRA DE METALURGIA E MATERIAIS - TECNOLOGIA METALURGICA E MATERIAISpt_BR
dc.date.accessioned2014-11-17T17:06:59Zpt_BR
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dc.date.evento13-17 de setembro, 1998pt_BR
dc.event.siglaABM,53pt_BR
dc.format.extent875-885pt_BR
dc.identifier.citationSEO, E.S.M.; BROCCHI, E.A.; CARVALHO, R.J.; ANDREOLI, M.; SOARES, E.P. Aspectos da cloracao do silicio. In: 53o. CONGRESSO ANUAL DA ASSOCIACAO BRASILEIRA DE METALURGIA E MATERIAIS - TECNOLOGIA METALURGICA E MATERIAIS, 13-17 de setembro, 1998, Belo Horizonte, MG. p. 875-885. Disponível em: http://repositorio.ipen.br/handle/123456789/12217.
dc.identifier.urihttp://repositorio.ipen.br/handle/123456789/12217pt_BR
dc.local.eventoBelo Horizonte, MGpt_BR
dc.rightsopenAccess
dc.subjectsiliconpt_BR
dc.subjectchlorinationpt_BR
dc.subjecttemperature range 0400-1000 kpt_BR
dc.subjectreaction kineticspt_BR
dc.subjectoptical microscopypt_BR
dc.subjectscanning electron microscopypt_BR
dc.titleAspectos da cloracao do siliciopt_BR
dc.typeTexto completo de eventopt_BR
dspace.entity.typePublication
ipen.autorEUFEMIA PAEZ SOARES
ipen.autorMARCO ANDREOLI
ipen.autorEMILIA SATOSHI MIYAMARU SEO
ipen.codigoautor3683
ipen.codigoautor104
ipen.codigoautor1510
ipen.contributor.ipenauthorEUFEMIA PAEZ SOARES
ipen.contributor.ipenauthorMARCO ANDREOLI
ipen.contributor.ipenauthorEMILIA SATOSHI MIYAMARU SEO
ipen.date.recebimento99-07pt_BR
ipen.event.datapadronizada1998pt_BR
ipen.identifier.ipendoc06539pt_BR
ipen.type.genreArtigo
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sigepi.autor.atividadeSEO, E.S.M.:1510:-1:Spt_BR
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