Caracterização de filmes finos de óxidos de nióbio obtidos por sputtering reativo

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dc.contributor.authorSCHEIDT, G.Spt_BR
dc.contributor.authorSILVA JUNIOR, O.P.V.pt_BR
dc.contributor.authorARAUJO, E.G.pt_BR
dc.contributor.authorPILLIS, M.F.pt_BR
dc.coverageNacionalpt_BR
dc.creator.eventoCONGRESSO BRASILEIRO DE ENGENHARIA E CIÊNCIA DOS MATERIAIS, 21.pt_BR
dc.date.accessioned2015-02-09T11:55:56Zpt_BR
dc.date.accessioned2015-04-02T03:34:13Z
dc.date.available2015-02-09T11:55:56Zpt_BR
dc.date.available2015-04-02T03:34:13Z
dc.date.evento9-13 de novembro, 2014pt_BR
dc.event.siglaCBECIMATpt_BR
dc.format.extent795-802pt_BR
dc.identifier.citationSCHEIDT, G.S; SILVA JUNIOR, O.P.V.; ARAUJO, E.G.; PILLIS, M.F. Caracterização de filmes finos de óxidos de nióbio obtidos por sputtering reativo. In: CONGRESSO BRASILEIRO DE ENGENHARIA E CIÊNCIA DOS MATERIAIS, 21., 9-13 de novembro, 2014, Cuiabá, MT. <b>Anais...</b> p. 795-802. Disponível em: http://repositorio.ipen.br/handle/123456789/23468.
dc.identifier.orcidhttps://orcid.org/0000-0002-1423-871X
dc.identifier.urihttp://repositorio.ipen.br/handle/123456789/23468pt_BR
dc.local.eventoCuiabá, MTpt_BR
dc.rightsopenAccesspt_BR
dc.subjectthin films
dc.subjectniobium oxides
dc.subjectsputtering
dc.subjectrefractive index
dc.subjectoptical properties
dc.subjectchemical properties
dc.subjectcorrosion resistance
dc.subjectsilicon
dc.subjectboron silicates
dc.subjectellipsometry
dc.subjectrutherford scattering
dc.titleCaracterização de filmes finos de óxidos de nióbio obtidos por sputtering reativopt_BR
dc.typeTexto completo de eventopt_BR
dspace.entity.typePublication
ipen.autorMARINA FUSER PILLIS
ipen.autorEDVAL GONCALVES DE ARAUJO
ipen.autorOSWALDO PEREIRA VILELA DA SILVA JUNIOR
ipen.codigoautor758
ipen.codigoautor1689
ipen.codigoautor2438
ipen.contributor.ipenauthorMARINA FUSER PILLIS
ipen.contributor.ipenauthorEDVAL GONCALVES DE ARAUJO
ipen.contributor.ipenauthorOSWALDO PEREIRA VILELA DA SILVA JUNIOR
ipen.date.recebimento15-02pt_BR
ipen.event.datapadronizada2014
ipen.identifier.ipendoc20511pt_BR
ipen.notas.internasAnaispt_BR
ipen.type.genreArtigo
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sigepi.autor.atividadeSILVA JUNIOR, O.P.V.:2438:-1:Npt_BR
sigepi.autor.atividadeARAUJO, E.G.:1689:-1:Npt_BR
sigepi.autor.atividadePILLIS, M.F.:758:730:Npt_BR

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