Produção e caracterização de filmes finos de carbono pela técnica de Magnetron Sputtering

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dc.contributor.authorSILVA, D.L.C.
dc.contributor.authorKASSAB, L.R.P.
dc.contributor.authorMARTINELLI, J.R.
dc.contributor.authorSANTOS, A.D.
dc.contributor.authorRIBEIRO, S.J.L.
dc.contributor.authorPILLIS, M.F.
dc.coverageNacionalpt_BR
dc.creator.eventoCONGRESSO BRASILEIRO DE CERAMICA, 59.pt_BR
dc.date.accessioned2016-01-28T11:53:48Z
dc.date.available2016-01-28T11:53:48Z
dc.date.evento17-20 de maio, 2015pt_BR
dc.event.siglaCBCpt_BR
dc.format.extent3515-3525pt_BR
dc.identifier.citationSILVA, D.L.C.; KASSAB, L.R.P.; MARTINELLI, J.R.; SANTOS, A.D.; RIBEIRO, S.J.L.; PILLIS, M.F. Produção e caracterização de filmes finos de carbono pela técnica de Magnetron Sputtering. In: CONGRESSO BRASILEIRO DE CERAMICA, 59., 17-20 de maio, 2015, Barra dos Coqueiros, SE. <b>Anais...</b> p. 3515-3525. Disponível em: http://repositorio.ipen.br/handle/123456789/25624.
dc.identifier.orcidhttps://orcid.org/0000-0002-1423-871X
dc.identifier.urihttp://repositorio.ipen.br/handle/123456789/25624
dc.local.eventoBarra dos Coqueiros, SEpt_BR
dc.rightsopenAccesspt_BR
dc.subjectthin films
dc.subjectcarbon
dc.subjectmagnetrons
dc.subjectsputtering
dc.subjectsample preparation
dc.subjectheat treatments
dc.subjectcrystallization
dc.subjecttransmission electron microscopy
dc.subjectraman spectroscopy
dc.subjectscanning electron microscopy
dc.titleProdução e caracterização de filmes finos de carbono pela técnica de Magnetron Sputteringpt_BR
dc.typeTexto completo de eventopt_BR
dspace.entity.typePublication
ipen.autorANTôNIO DOMINGUES DOS SANTOS
ipen.autorMARINA FUSER PILLIS
ipen.autorJOSE ROBERTO MARTINELLI
ipen.autorLUCIANA REYES PIRES KASSAB
ipen.codigoautor7630
ipen.codigoautor758
ipen.codigoautor155
ipen.codigoautor6200
ipen.contributor.ipenauthorANTôNIO DOMINGUES DOS SANTOS
ipen.contributor.ipenauthorMARINA FUSER PILLIS
ipen.contributor.ipenauthorJOSE ROBERTO MARTINELLI
ipen.contributor.ipenauthorLUCIANA REYES PIRES KASSAB
ipen.date.recebimento16-01pt_BR
ipen.event.datapadronizada2015pt_BR
ipen.identifier.ipendoc21533pt_BR
ipen.notas.internasAnaispt_BR
ipen.type.genreArtigo
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relation.isAuthorOfPublication.latestForDiscovery37bf8544-bd09-4862-9847-75039123f59c
sigepi.autor.atividadeKASSAB, L.R.P.:6200:-1:N
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sigepi.autor.atividadeSANTOS, A.D.:7630:-1:N
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