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Instituto de Pesquisas Energéticas e Nucleares
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ANTôNIO DOMINGUES DOS SANTOS
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MARINA FUSER PILLIS
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ANTôNIO DOMINGUES DOS SANTOS
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JOSE ROBERTO MARTINELLI
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LUCIANA REYES PIRES KASSAB
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magnetrons
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carbon
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2015
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Autor: MARINA FUSER PILLIS
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Assunto: magnetrons
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Artigo
IPEN-doc 21533
Produção e caracterização de filmes finos de carbono pela técnica de Magnetron Sputtering
2015
-
SILVA, D.L.C.
;
KASSAB, L.R.P.
;
MARTINELLI, J.R.
;
SANTOS, A.D.
;
RIBEIRO, S.J.L.
;
PILLIS, M.F.
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