Structural changes in silicon wafer processed by femtosecond laser

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dc.contributor.authorROSSI, W. dept_BR
dc.contributor.authorMACHADO, L.M.pt_BR
dc.contributor.authorSAMAD, R.E.pt_BR
dc.contributor.authorFREITAS, A.Z.pt_BR
dc.contributor.authorVIEIRA JUNIOR, N.D.pt_BR
dc.contributor.authorCOUSTILLIER, G.pt_BR
dc.contributor.authorUTEZA, O.pt_BR
dc.contributor.authorCAPRARA, L.P.pt_BR
dc.contributor.authorPIZANI, P.S.pt_BR
dc.coverageNacionalpt_BR
dc.creator.eventoENCONTRO DA SOCIEDADE BRASILEIRA DE PESQUISA EM MATERIAIS, 7.pt_BR
dc.date.accessioned2014-11-19T11:00:52Zpt_BR
dc.date.accessioned2014-11-19T14:04:22Zpt_BR
dc.date.accessioned2015-04-01T12:39:00Z
dc.date.available2014-11-19T11:00:52Zpt_BR
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dc.date.evento28 de setembro - 02 de outubro, 2008pt_BR
dc.event.siglaSBPMAT 2008pt_BR
dc.identifier.citationROSSI, W. de; MACHADO, L.M.; SAMAD, R.E.; FREITAS, A.Z.; VIEIRA JUNIOR, N.D.; COUSTILLIER, G.; UTEZA, O.; CAPRARA, L.P.; PIZANI, P.S. Structural changes in silicon wafer processed by femtosecond laser. In: ENCONTRO DA SOCIEDADE BRASILEIRA DE PESQUISA EM MATERIAIS, 7., 28 de setembro - 02 de outubro, 2008, Guarujá, SP. <b>Resumos...</b> Disponível em: http://repositorio.ipen.br/handle/123456789/20435.
dc.identifier.orcidhttps://orcid.org/0000-0003-0092-9357
dc.identifier.orcidhttps://orcid.org/0000-0002-5018-9126
dc.identifier.orcidhttps://orcid.org/0000-0001-7762-8961
dc.identifier.orcidhttps://orcid.org/0000-0003-1371-7521
dc.identifier.urihttp://repositorio.ipen.br/handle/123456789/20435pt_BR
dc.local.eventoGuarujá, SPpt_BR
dc.rightsopenAccesspt_BR
dc.subjectlaser beam machiningpt_BR
dc.subjectsiliconpt_BR
dc.subjectraman spectroscopypt_BR
dc.titleStructural changes in silicon wafer processed by femtosecond laserpt_BR
dc.typeResumo de eventos científicospt_BR
dspace.entity.typePublication
ipen.autorGAELLE COUSTILLIER
ipen.autorNILSON DIAS VIEIRA JUNIOR
ipen.autorANDERSON ZANARDI DE FREITAS
ipen.autorRICARDO ELGUL SAMAD
ipen.autorLEANDRO MATIOLLI MACHADO
ipen.autorWAGNER DE ROSSI
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ipen.codigoautor73
ipen.contributor.ipenauthorGAELLE COUSTILLIER
ipen.contributor.ipenauthorNILSON DIAS VIEIRA JUNIOR
ipen.contributor.ipenauthorANDERSON ZANARDI DE FREITAS
ipen.contributor.ipenauthorRICARDO ELGUL SAMAD
ipen.contributor.ipenauthorLEANDRO MATIOLLI MACHADO
ipen.contributor.ipenauthorWAGNER DE ROSSI
ipen.date.recebimento12-04pt_BR
ipen.event.datapadronizada2008pt_BR
ipen.identifier.ipendoc17779pt_BR
ipen.notas.internasResumospt_BR
ipen.type.genreResumo
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sigepi.autor.atividadeROSSI, W. DE:73:920:Spt_BR
sigepi.autor.atividadeMACHADO, L.M.:3955:-1:Npt_BR
sigepi.autor.atividadeSAMAD, R.E.:909:930:Npt_BR
sigepi.autor.atividadeFREITAS, A.Z.:880:920:Npt_BR
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sigepi.autor.atividadeCOUSTILLIER, G.:7870:-1:Npt_BR
sigepi.autor.atividadeUTEZA, O.:-1:-1:Npt_BR
sigepi.autor.atividadeCAPRARA, L.P.:-1:-1:Npt_BR
sigepi.autor.atividadePIZANI, P.S.:-1:-1:Npt_BR

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