Organometallic chemical vapor deposition of compounds semiconductors

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dc.contributor.authorGRASSI, M.pt_BR
dc.contributor.authorSOARES, D.A.W.pt_BR
dc.contributor.authorQUEIROZ, A.A.A.pt_BR
dc.contributor.authorBRESSIANI, A.H.A.pt_BR
dc.contributor.authorBRESSIANI, J.C.pt_BR
dc.coverageInternacionalpt_BR
dc.date.accessioned2014-07-31T11:33:27Zpt_BR
dc.date.accessioned2014-07-31T11:50:40Z
dc.date.available2014-07-31T11:33:27Zpt_BR
dc.date.available2014-07-31T11:50:40Z
dc.date.issued2004pt_BR
dc.format.extent179-181pt_BR
dc.identifier.citationGRASSI, M.; SOARES, D.A.W.; QUEIROZ, A.A.A.; BRESSIANI, A.H.A.; BRESSIANI, J.C. Organometallic chemical vapor deposition of compounds semiconductors. <b>Materials Science and Engineering, B</b>, v. 112, n. 2-3, p. 179-181, 2004. DOI: <a href="https://dx.doi.org/10.1016/j.mseb.2004.05.028">10.1016/j.mseb.2004.05.028</a>. Disponível em: http://repositorio.ipen.br/handle/123456789/7541.
dc.identifier.doi10.1016/j.mseb.2004.05.028
dc.identifier.fasciculo2-3pt_BR
dc.identifier.issn0921-5107pt_BR
dc.identifier.urihttp://repositorio.ipen.br/handle/123456789/7541pt_BR
dc.identifier.vol112pt_BR
dc.relation.ispartofMaterials Science and Engineering, Bpt_BR
dc.rightsopenAccessen
dc.subjectzinc oxidespt_BR
dc.subjectchemical vapor depositionpt_BR
dc.subjectsemiconductor materialspt_BR
dc.subjectthin filmspt_BR
dc.subjectpolymerspt_BR
dc.subjectsubstratespt_BR
dc.subjectscanning electron microscopypt_BR
dc.titleOrganometallic chemical vapor deposition of compounds semiconductorspt_BR
dc.typeArtigo de periódicopt_BR
dspace.entity.typePublication
ipen.autorJOSE CARLOS BRESSIANI
ipen.autorANA HELENA DE ALMEIDA BRESSIANI
ipen.autorÁLVARO ANTONIO ALENCAR DE QUEIROZ
ipen.codigoautor1459
ipen.codigoautor96
ipen.codigoautor7319
ipen.contributor.ipenauthorJOSE CARLOS BRESSIANI
ipen.contributor.ipenauthorANA HELENA DE ALMEIDA BRESSIANI
ipen.contributor.ipenauthorÁLVARO ANTONIO ALENCAR DE QUEIROZ
ipen.identifier.fi0.924pt_BR
ipen.identifier.ipendoc10218pt_BR
ipen.identifier.iwosWoSpt_BR
ipen.range.fi0.001 - 1.499
ipen.type.genreArtigo
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sigepi.autor.atividadeGRASSI, M.:-1:-1:Spt_BR
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sigepi.autor.atividadept_BR
sigepi.autor.atividadeSOARES, D.A.W.:-1:-1:Npt_BR
sigepi.autor.atividadeQUEIROZ, A.A.A.:7319:-1:Npt_BR
sigepi.autor.atividadeBRESSIANI, A.H.A.:96:34:Npt_BR
sigepi.autor.atividadeBRESSIANI, J.C.:1459:34:Npt_BR

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