Estudo e caracterizacao de filmes finos de nitreto de titanio obtidos por evaporacao a arco catodico de deposicao a vacuo
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Jose Octavio Armani Paschoal
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GUERREIRO, SERGIO S. Estudo e caracterizacao de filmes finos de nitreto de titanio obtidos por evaporacao a arco catodico de deposicao a vacuo. Orientador: Jose Octavio Armani Paschoal. 1994. 96 f. Dissertacao (Mestrado) - Instituto de Pesquisas Energeticas e Nucleares - IPEN/CNEN-SP, Sao Paulo. Disponível em: http://repositorio.ipen.br/handle/123456789/10377. Acesso em: 30 Dec 2025.
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