Estudo e caracterizacao de filmes finos de nitreto de titanio obtidos por evaporacao a arco catodico de deposicao a vacuo

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dc.contributor.advisorJose Octavio Armani Paschoalpt_BR
dc.contributor.authorGUERREIRO, SERGIO S.pt_BR
dc.coverageNacionalpt_BR
dc.date.accessioned2014-10-09T12:37:59Zpt_BR
dc.date.accessioned2014-10-09T14:05:53Z
dc.date.available2014-10-09T12:37:59Zpt_BR
dc.date.available2014-10-09T14:05:53Z
dc.date.issued1994pt_BR
dc.description.notasgeraisDissertacao (Mestrado)pt_BR
dc.description.notasteseIPEN/Dpt_BR
dc.description.teseinstituicaoInstituto de Pesquisas Energeticas e Nucleares - IPEN/CNEN-SPpt_BR
dc.format.extent96pt_BR
dc.identifier.citationGUERREIRO, SERGIO S. <b>Estudo e caracterizacao de filmes finos de nitreto de titanio obtidos por evaporacao a arco catodico de deposicao a vacuo</b>. Orientador: Jose Octavio Armani Paschoal. 1994. 96 f. Dissertacao (Mestrado) - Instituto de Pesquisas Energeticas e Nucleares - IPEN/CNEN-SP, Sao Paulo. Disponível em: http://repositorio.ipen.br/handle/123456789/10377.
dc.identifier.urihttp://repositorio.ipen.br/handle/123456789/10377pt_BR
dc.localSao Paulopt_BR
dc.rightsopenAccesspt_BR
dc.subjectthin filmspt_BR
dc.subjecttitanium nitridespt_BR
dc.subjectevaporationpt_BR
dc.subjectdepositionpt_BR
dc.subjectvacuum coatingpt_BR
dc.titleEstudo e caracterizacao de filmes finos de nitreto de titanio obtidos por evaporacao a arco catodico de deposicao a vacuopt_BR
dc.typeDissertaçãopt_BR
dspace.entity.typePublication
ipen.autorSERGIO S. GUERREIRO
ipen.codigoautor12508
ipen.contributor.ipenauthorSERGIO S. GUERREIRO
ipen.date.recebimento94-07pt_BR
ipen.identifier.ipendoc05586pt_BR
ipen.identifier.localizacaoT539.23 / G934ept_BR
ipen.type.genreDissertação
relation.isAuthorOfPublication6834308b-bd7b-4890-8807-aa90d37142b0
relation.isAuthorOfPublication.latestForDiscovery6834308b-bd7b-4890-8807-aa90d37142b0
sigepi.autor.atividadeGUERREIRO, SERGIO S.:12508:-1:Spt_BR

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